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硅片

物理性质

掺杂物质

掺 B

掺 P

不掺杂

类 型

P

N

P

电阻率 Ω .cm

10-3 ~ 40

10-3 ~ 40

102 ~ 104

EPD (cm-2 )

≤ 100

≤100

≤100

氧含量 ( /cm3 )

≤  1.8 x1018

≤1.8 x1018

≤ 1.8 x1018

碳含量 ( /cm3 )

≤ 5x1016

≤ 5x1016

≤ 5x1016

晶体方向

<111>,<100>,<110>

x-defi规格

Dia.1" × 0.3mm
Dia.1" × 0.5mm
Dia.2" × 0.5mm
Dia.3" × 0.5mm
可根据需求提供特殊方向和尺寸。

晶面定向精度

±0.3o

表面抛光

单/双面抛光   Ra<5 A

   
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